用電子束進(jìn)行輻照的電子束來自電子加速器。電子束從電子槍發(fā)射出來后，在加速管內(nèi)受到高微波電場(chǎng)（或直流電場(chǎng)）的加速作用，將電子能量提高到額定值（例如10MeV），然后經(jīng)磁鐵偏轉(zhuǎn)掃描通過鈦窗射出。
因?yàn)殡娮邮菃蜗虬l(fā)射，能量相對(duì)集中，總能量利用率高于60%，對(duì)發(fā)射功率15kW的加速器，產(chǎn)品的產(chǎn)量9kGy•kg/s，由此處理一個(gè)典型的10kGy的輻照，產(chǎn)品的產(chǎn)量為0.9kg/s或約3.2t/h。
與電子加速器有關(guān)的主要參數(shù)：
電子能量E：電子能量一般指加速器輸出電子束的最高能量，習(xí)慣以MeV（兆電子伏）為單位來表示。
在工業(yè)輻照領(lǐng)域，根據(jù)輻射加工產(chǎn)品的不同要求，電子能量設(shè)計(jì)在0.15MeV到10MeV之間（1MeV＝106eV）。通常如下表所示，分為3類：
電子束流強(qiáng)度I：指被加速電子的數(shù)量，即電流，常以mA（毫安）為單位。低能或中能加速器的束流，通常為恒定束流（直流），高能直線加速器輸出為脈沖束流，它由脈沖頻率，脈沖寬度，脈沖流強(qiáng)等參數(shù)描述。
電子加速器的輸出功率P：表示其加工能力，它由加速器的高壓和電子束流強(qiáng)度所確定。
P（kW）=E（MeV）×I（mA）
與鈷－60源相比，電子加速器的功率大，一般為幾kW到幾百kW，能量和束流強(qiáng)度根據(jù)需要選擇確定。
加速器作為電子束輻射源，產(chǎn)生的劑量率要比鈷－60γ輻射源高出3～4個(gè)數(shù)量級(jí)，方向集中，能量利用率高，照射時(shí)間短，生產(chǎn)效率高。適合于大批量的輻照加工，可形成規(guī)模產(chǎn)業(yè)。但電子束的穿透能力低，應(yīng)用亦有一定的局限性。
任何輻射源都必需采取防護(hù)措施。相對(duì)而言，加速器源的輻射防護(hù)比較容易，開機(jī)時(shí)有輻射，停機(jī)就沒有輻射了，這使輻射安全事故的概率大大降低。能量低于10MeV的電子，不會(huì)產(chǎn)生感生放射性。
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